某半导体设备集成ic生成厂在晶圆加工制作时候中，操作硅烷对其进行硅外加植物的生长，尾气排放洗衣机清洗塔生成高氧浓度含硅废液。废液更具pH波动性大（2-11）、硅含氧量高的特殊性，一般解决形式易显示硅垢闭塞困难。 废水处理成份及从何而来 生产废水核心组分为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂溶度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢防氧化钠 ：洗衣机清洗塔酸碱性洗衣机清洗液留 科粒硅 ：纳米技术级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：原材料其它杂物带到 除理加工过程步骤流程 改革创新主要包括"有级中合+膜过虑+蒸馏凝结"施工工艺： 3级中合 ：用CaO缓解pH至4-5，出现硅酸钙沉淀物中，硅避开率60%。 三级结合 ：加Na₂CO₃将pH提高了至9，进每一步积累残余硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜设计 ：0.02μm工业陶瓷膜脱水纳米技术级硅颗料，通量安全稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩造成高盐工业废水，晶粒出Na₂SO₄副新产品，水循环率超90%。 终究特效 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下 砷成分从0.8mg/L减至0.01mg/L 平台无水垢运作高于2年 每一年收废氢氧化钾钠晶胞约800吨