该厂为8屏幕尺寸晶圆制作线设施的超软水体系，每一天带来含硅废气150吨。废气中虽无血本属，但硅含锌量高易积灰，且电阻功率率需做到18MΩ·cm才可以回收利用。应有解决的工艺不了实现新颁发的《光电重工业水破坏物废气环保排污标准》（GB39731-2020）尤其废气排污卫生防护距离。 废污水材质作用 主要的水固体废弃物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒度0.1-1μm） 特色符合要求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 土质性能 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅化学物质形态特征错综复杂 治疗新工艺程序图 全新分为"梯级膜脱离+电去正离子"组合名字制作工艺： 微滤预处置 ：1μm瓷器膜电话拦截大粉末硅，通量维护80LMH 阴阳离子相互交换不饱和树脂 ：D201大孔光敏树脂取舍性吸附剂硅酸原子 三级RO装置 ：第1段回收公司率60%，第二步段利用高脱硼膜构件 EDI电去化合物 ：交流电强度2A/m²，定期剔除残渣铁离子 红外光谱除臭 ：254nmUV紫外线的线的用药量40mJ/cm² 技术应用工作亮点 建设专用工具阻硅剂（充分胺类组合物），减缓膜空气污染周期怎么算3倍 EDI功能全新流道设定，硅剔除率提拔至99.8% 线上硅讲解仪（量测比率0.1-500μg/L）确保精准定位控制 执行工作成效 经3、方加测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L降落到0.3μg/L 程序回报率从原40%提升自己至68% 膜改换时期提高至5年，年电脑运行成本费用较低35%